電子工程的建設(shè)是要為電子產(chǎn)品的生產(chǎn)提供可靠的環(huán)境條件,生產(chǎn)環(huán)境與電子產(chǎn)品生產(chǎn)有著密切的關(guān)系,合適的生產(chǎn)環(huán)境,可以提高產(chǎn)品的性能、成品率及可靠性,否則會(huì)對產(chǎn)品生產(chǎn)造成較大的影響。LED/液晶/線路板制造是一種高度精密化的工業(yè),一些細(xì)微的環(huán)境或操作變動(dòng)都有可能影響其制造成品的質(zhì)量,因此制造過程均要求在嚴(yán)格控制下的潔凈室中操作。潔凈室是一個(gè)采用層層過濾以去除空氣中微粒存在,并控制室內(nèi)溫度與濕度于恒定狀態(tài)的密閉空間。LED/液晶/線路板芯片制備到器件封裝,對生產(chǎn)環(huán)境空氣品質(zhì)都有較高的要求,空氣品質(zhì)關(guān)系著成品率和產(chǎn)品品質(zhì);在眾多的工藝環(huán)節(jié)中,哪個(gè)工藝過程是防止污染的關(guān)鍵?潔凈度已經(jīng)達(dá)標(biāo),為什么產(chǎn)品上仍有污染?相同的工藝和環(huán)境參數(shù),為什么我們的能耗比別人高?怎樣的潔凈室規(guī)劃設(shè)計(jì)方案是最節(jié)能的、最符合工藝要求的,投資省、運(yùn)行費(fèi)用低、生產(chǎn)效率高?下面,談一談電子廠潔凈間的一些基本要求與特點(diǎn):一、電子廠潔凈間層流潔凈室空氣活動(dòng)的特征它有以下特征:室內(nèi)悉數(shù)懸浮粒子都保持在層流層中運(yùn)動(dòng).1、空氣呈層流方式運(yùn)動(dòng),使得室內(nèi)一切懸浮粒子均在層流層中運(yùn)動(dòng),則可避免懸浮粒子聚結(jié)成大粒子.2、空氣流速相對進(jìn)步,使粒子在空氣中起浮,而不會(huì)積累沉降下來,一起室內(nèi)空氣也不會(huì)出現(xiàn)阻滯狀況,可防止藥物粉末交叉污染;進(jìn)入室內(nèi)的層流空氣現(xiàn)已過高效過濾器濾過,到達(dá)無菌需要;室內(nèi)新產(chǎn)生的污染物能很快被層流空氣帶走,排到室外。 二、電...
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一、暖通空調(diào)系統(tǒng)節(jié)能設(shè)計(jì)的必要性潔凈廠房暖通系統(tǒng)的冷負(fù)荷與一般廠房或辦公樓空調(diào)系統(tǒng)的冷負(fù)荷大不相同。一般辦公建筑空調(diào)系統(tǒng)的冷卻負(fù)荷約為335-502 kJ/( m².h),而潔凈設(shè)施的暖通系統(tǒng)的冷負(fù)荷約為1300-2600kJ( m².h),空調(diào)通風(fēng)頻率是辦公建筑的好幾倍。另有研究顯示,大型潔凈工廠的暖通系統(tǒng)及相關(guān)制冷設(shè)備在運(yùn)行期間消耗了工廠總能耗的60%左右,其正常運(yùn)行需要極高的運(yùn)營成本,這給企業(yè)營業(yè)成本帶來了壓力。在潔凈工廠建造空調(diào)系統(tǒng)時(shí),往往關(guān)注點(diǎn)在安裝和建造空調(diào)凈化系統(tǒng)的成本和生產(chǎn)環(huán)境溫度、濕度、潔凈度的達(dá)標(biāo)問題,忽視了潔凈空調(diào)系統(tǒng)在運(yùn)行期間的能耗統(tǒng)計(jì)分析,從而導(dǎo)致實(shí)際運(yùn)行時(shí)的成本壓力。因此,在未來潔凈產(chǎn)房空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和建造必須以節(jié)能降耗為基礎(chǔ),綜合考慮到設(shè)備運(yùn)行期間的能源消耗,采用節(jié)能產(chǎn)品或使用更多的節(jié)能元件、設(shè)備來降低整個(gè)系統(tǒng)的能耗系數(shù)。二、暖通節(jié)能設(shè)計(jì)要點(diǎn)1、根據(jù)廠房的實(shí)際情況,合理的進(jìn)行負(fù)荷計(jì)算廠房不同于民用建筑,計(jì)算廠房的冷負(fù)荷和熱負(fù)荷很復(fù)雜。我們應(yīng)該根據(jù)相關(guān)的供暖和通風(fēng)設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)確定設(shè)計(jì)溫度范圍。有些工廠暖通系統(tǒng)的設(shè)計(jì)溫度必須在12 ℃到15 ℃之間,而有的工廠的空調(diào)溫度可以設(shè)計(jì)在26 ℃到27 ℃之間。由此,我們可以看出不同工藝要求,所需求的環(huán)境設(shè)計(jì)溫度差異巨大。實(shí)際上,各個(gè)工廠或車間的載荷構(gòu)成或大小可能也有所不同。在一些工廠,新鮮空氣負(fù)荷...
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氟材料是指分子結(jié)構(gòu)中含有氟原子的一類高分子合成材料,以其卓越的耐化學(xué)性、耐高低溫性、低介電常數(shù)、低摩擦系數(shù)和憎水憎油性而聞名。今天給大家簡答介紹一下氟材料的分類、氟材料在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用以及相關(guān)企業(yè)一、氟材料的分類主要可以分為以下幾大類:1、氟樹脂(塑料)這是應(yīng)用最廣泛的一類氟材料,通常為半結(jié)晶性聚合物。聚四氟乙烯 (PTFE):俗稱“塑料王”。具有最優(yōu)異的化學(xué)惰性、寬廣的使用溫度(-190°C 260°C)、極低的摩擦系數(shù)和介電常數(shù)。但其缺點(diǎn)是難以加工(通常采用燒結(jié)成型)且機(jī)械性能較差。全氟(乙烯-丙烯)共聚物 (FEP):可以看作是PTFE的改性版本,引入了丙烯單元。它保留了PTFE的大部分優(yōu)良特性,但熔點(diǎn)更低,可以采用熔融擠出等熱塑性塑料的加工方式,使其在管線襯里和線纜絕緣方面應(yīng)用廣泛??扇坌跃鬯姆蚁?(PFA):同樣是為了改善PTFE的加工性能而開發(fā)。它的性能與PTFE非常接近,耐溫性優(yōu)于FEP,同時(shí)也能進(jìn)行熔融加工,常用于制造要求極高的半導(dǎo)體級管道、閥門和容器。聚偏氟乙烯 (PVDF):機(jī)械強(qiáng)度高、耐輻射性好,并且具有壓電性和熱電性。其化學(xué)耐性略低于PTFE/FEP/PFA,但對鹵素和氧化劑仍有很好的抵抗能力。常用于制造泵、管道和潔凈室建材。乙烯-四氟乙烯共聚物 (ETFE):具有優(yōu)異的抗沖擊強(qiáng)度、耐磨性和抗撕裂性,機(jī)械性能是氟樹脂中最好的之一。...
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特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接,同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序,對施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。最后整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。其現(xiàn)場基本的施工程序?yàn)椋菏┕D紙會(huì)審→施工組織編寫→預(yù)制間的搭設(shè)→施工機(jī)具的準(zhǔn)備→施工人員的培訓(xùn)→預(yù)制圖紙的編寫→管道的預(yù)制→管道的現(xiàn)場安裝→系統(tǒng)檢測→系統(tǒng)驗(yàn)收。一、預(yù)制間的選擇特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高,管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn),預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級的凈化間進(jìn)行,作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于大宗特氣項(xiàng)目,一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。但我們在實(shí)際的施工中,大宗特氣項(xiàng)目很少,一般都是簡單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng),為了節(jié)約成本和資金,在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現(xiàn)場找一塊相對潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工,除作業(yè)人員和檢察人員外,應(yīng)禁止無關(guān)人員出入。如果業(yè)主要求比較嚴(yán)格,也采用彩鋼板搭設(shè)一個(gè)簡單的預(yù)制件,房間內(nèi)鋪上地板革,在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺(tái)層流罩,做一個(gè)簡單的凈化空間,進(jìn)行管道的預(yù)制工作。二、主要的施工機(jī)具特種氣體管道的主要施工機(jī)具有:全自動(dòng)軌道焊機(jī)(D100、MIOO等)管道切割機(jī)(GF鋸)、管子割刀、平口機(jī)、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置電源穩(wěn)壓器、防止施工現(xiàn)場電流波動(dòng)對焊...
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一、概念 特氣輸送系統(tǒng)是指:將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制,通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。其基本流程是:氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點(diǎn)。二、分類 特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為:惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體;根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為:特種氣體和大宗特種氣體。三、供氣系統(tǒng)的選擇 1、簡單供氣系統(tǒng) 簡單供氣系統(tǒng)主要針對4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡單,通常不需要連續(xù)性供氣,對氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。由于氣體流量小,不經(jīng)常使用,特種氣體氣源多采用普通鋼瓶(50L)。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板;配置繼電器控制,自動(dòng)切換,手動(dòng)吹掃,手動(dòng)放空,有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,甚至沒有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。2、常規(guī)供氣系統(tǒng) 常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸大規(guī)模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線,發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對氣體純度控制的要求不苛刻,系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡單,節(jié)省投資。特種氣...
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揮發(fā)性有機(jī)化合物(VOC)是石油化工、有機(jī)化工、表面涂裝、包裝印刷等需要化學(xué)反應(yīng)或使用有機(jī)溶劑的行業(yè)在生產(chǎn)過程中排放的污染物。根據(jù)世界衛(wèi)生組織(WHO)的定義,VOC為熔點(diǎn)低于室溫而沸點(diǎn)在50~260℃之間的揮發(fā)性有機(jī)化合物的總稱。VOC的主要成分為烷烴、烯炔烴、芳香烴、羰基化合物、鹵代烴等,特點(diǎn)是沸點(diǎn)較低、分子量小、常溫下易揮發(fā),VOC多具有刺激性氣味和毒性,且易燃易爆。由于VOC的危險(xiǎn)性與危害性,我國針對各行業(yè)制定了廢氣排放要求。例如《合成樹脂工業(yè)污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》(GB31572-2015)中規(guī)定,執(zhí)行大氣污染物特別排放限制的地域,合成樹脂非甲烷總烴排放限值為60mg·m-3,合成樹脂顆粒物排放限值為20mg·m-3。隨著我國環(huán)保意識(shí)的提升和工業(yè)升級的需要,廢氣排放的要求越來越嚴(yán)格,對于VOC處理的需求增長迅速。一、VOC處理技術(shù)簡介VOC處理技術(shù)從基礎(chǔ)原理上可以分為回收法和分解法兩大類。回收法是通過吸附、吸收、冷凝和膜分離等方法對VOC進(jìn)行處理。吸附法是通過活性炭、沸石和硅石等具有多孔結(jié)構(gòu)的物質(zhì)對VOC進(jìn)行物理吸附和捕捉,然后通過升溫、減壓、提高濕度等方法對吸附的VOC進(jìn)行解吸。吸收法分為物理吸收和化學(xué)吸收,物理吸收是根據(jù)有機(jī)物相似相溶的原理,選用弱極性、高沸點(diǎn)、低揮發(fā)、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定的有機(jī)溶劑對VOC進(jìn)行吸收,再通過VOC與有機(jī)溶劑物理性質(zhì)的差異進(jìn)行分離;...
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普通傳遞窗是防止污染最有效的設(shè)備,其特點(diǎn)是雙門互鎖,主要用于潔凈室和非潔凈區(qū)之間或不同等級不同壓力的潔凈室之間小物體的傳遞,它能有效的減少工作人員因運(yùn)送物品進(jìn)行凈化房的次數(shù),防止外部空氣污染凈化房,本設(shè)備廣泛用于制藥行業(yè),生物實(shí)驗(yàn)室,電子行業(yè),食品加工業(yè)等一切需空氣凈化的場所。一、雙面互鎖機(jī)制互鎖機(jī)制是傳遞窗最基礎(chǔ)也最核心的安全設(shè)計(jì)。當(dāng)工作人員打開一側(cè)門放入物料后,系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)鎖定另一側(cè)門,確保兩扇門絕對不會(huì)同時(shí)開啟。這種“單向通行”規(guī)則,從物理上切斷了潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的空氣流通通道,避免了空氣交叉污染的可能。1、機(jī)械互鎖的運(yùn)行機(jī)制結(jié)構(gòu)可靠的“基礎(chǔ)款” 這種互鎖方式依靠機(jī)械連桿、鎖舌等物理結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)控制。當(dāng)一側(cè)門被打開時(shí),門體帶動(dòng)連桿推動(dòng)另一側(cè)門的鎖舌卡入鎖孔,從機(jī)械結(jié)構(gòu)上限制另一側(cè)門的開啟;只有當(dāng)打開的門完全關(guān)閉并復(fù)位后,連桿才會(huì)帶動(dòng)鎖舌收回,釋放對另一側(cè)門的限制。機(jī)械互鎖其優(yōu)勢在于無需外接電源,即使突發(fā)斷電也能穩(wěn)定工作,故障率極低,適合用于對可靠性要求極高、且無需遠(yuǎn)程控制的基礎(chǔ)醫(yī)藥場景,如小型藥店的藥品傳遞或基層醫(yī)院的簡易無菌區(qū)。2、電子互鎖的運(yùn)行機(jī)制智能可控的“進(jìn)階款” 以電磁鎖、傳感器和控制器為核心,是目前傳遞窗的主流配置。當(dāng)工作人員打開A側(cè)門時(shí),門體觸發(fā)位置傳感器,傳感器將信號傳輸至控制器,控制器立即給B側(cè)門的電磁鎖通電,使其牢牢吸合鎖閉;同時(shí),控制器會(huì)聯(lián)動(dòng)指示燈,用“紅...
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潔凈工作臺(tái)是一種提供局部潔凈、無塵工作環(huán)境的空氣凈化設(shè)備,廣泛應(yīng)用于生物制藥、微生物實(shí)驗(yàn)、電子制造、精密儀器裝配等領(lǐng)域,核心作用是通過空氣過濾和氣流組織,保護(hù)操作樣品、實(shí)驗(yàn)材料或精密元件免受環(huán)境污染物的污染,部分類型也可保護(hù)操作人員。一、核心工作原理空氣凈化+定向氣流 潔凈工作臺(tái)的核心是空氣凈化+定向氣流組織,具體流程如下:預(yù)過濾:環(huán)境空氣首先進(jìn)入初效過濾器,過濾掉空氣中的大顆粒粉塵(粒徑≥5μm),保護(hù)后續(xù)的高效過濾器。高效過濾:經(jīng)過初濾的空氣,被風(fēng)機(jī)送入高效空氣過濾器(HEPA),這是核心過濾部件,可過濾掉粒徑≥0.3μm的微粒,過濾效率高達(dá)99.97%以上,最終輸出潔凈空氣。氣流組織:潔凈空氣被輸送到工作臺(tái)操作區(qū),通過特定的氣流方向形成“潔凈氣幕”,阻止外界未凈化空氣進(jìn)入操作區(qū),同時(shí)帶走操作過程中產(chǎn)生的污染物。二、主要分類1、垂直流潔凈工作臺(tái)氣流方向:潔凈空氣從頂部垂直向下吹,經(jīng)操作區(qū)后從底部排出或回流保護(hù)對象:主要保護(hù)操作樣品/材料適用場景:微生物實(shí)驗(yàn)、細(xì)胞培養(yǎng)、藥品分裝、電子元件裝配2、水平流潔凈工作臺(tái)氣流方向:潔凈空氣從后側(cè)水平向前吹,直接覆蓋操作區(qū)保護(hù)對象:主要保護(hù)操作樣品/材料(氣流不經(jīng)過操作人員)適用場景:對操作人員無危害的樣品操作,如電子芯片、精密光學(xué)元件處理3、生物安全潔凈工作臺(tái)氣流方向:氣流分為兩部分:一部分垂直向下保護(hù)樣品;一部分向內(nèi)回流保護(hù)操作人員...
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一、潔凈廠房的控制要求各行各業(yè)的潔凈廠房因產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求不同,隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和設(shè)備儀器現(xiàn)代技術(shù)的不斷提高,在產(chǎn)品生產(chǎn)過程所需的生產(chǎn)環(huán)境控制、工藝介質(zhì)品種、純凈度、使用參數(shù)日益嚴(yán)格、繁多,所以潔凈廠房內(nèi)對空氣潔凈度等級、溫濕度、壓力差以及凈化空調(diào)所需冷源、熱源的供應(yīng)系統(tǒng)等實(shí)現(xiàn)顯示、調(diào)節(jié)、聯(lián)鎖、聯(lián)動(dòng)、記錄、報(bào)警功能,有的潔凈廠房還有各種高純介質(zhì)和高純氣體、高純水等的供應(yīng)系統(tǒng),微電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程常常需使用數(shù)十種特種氣體、化學(xué)品,這些物質(zhì)不少具有易燃易爆、毒性甚至自燃的特性,所以安全、報(bào)警、流量等技術(shù)參數(shù)的顯示、控制、聯(lián)鎖、聯(lián)動(dòng)均十分重要。因此潔凈廠房的自動(dòng)控制系統(tǒng)應(yīng)正確設(shè)置及設(shè)備、儀器應(yīng)正確選用,為此應(yīng)了解保證潔凈廠房正常、穩(wěn)定運(yùn)行的基本控制要求及技術(shù)參數(shù)。這里需要特別說明的是:現(xiàn)代高科技潔凈廠房內(nèi)的各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝設(shè)備或公用動(dòng)力系統(tǒng)/裝置或工藝介質(zhì)供應(yīng)系統(tǒng)/裝置等,都依據(jù)自身的工藝過程、操作特點(diǎn)和要求設(shè)有控制裝置如PLC裝置等,只是用整個(gè)產(chǎn)品生產(chǎn)線和潔凈廠房整體環(huán)境控制、生產(chǎn)管理、安全管理的要求,應(yīng)在全廠或潔凈廠房的控制系統(tǒng)/監(jiān)控系統(tǒng)顯示、監(jiān)控某些數(shù)據(jù)、指標(biāo)或獲取指令等。二、自控系統(tǒng)隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和裝備制造科研成果的應(yīng)用,潔凈廠房中產(chǎn)品生產(chǎn)工藝過程及管理的控制數(shù)據(jù)、實(shí)時(shí)監(jiān)測和潔凈生產(chǎn)環(huán)境控制數(shù)據(jù)、實(shí)時(shí)顯示、調(diào)節(jié)、檢測執(zhí)行等,依靠傳統(tǒng)的人工巡察、記錄或儀表傳輸?shù)谋O(jiān)控方式,已被許...
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一、日常注意事項(xiàng)保證干凈。保證物料凈化(包括進(jìn)入潔凈室的物料準(zhǔn)入制度,物料的清理和清掃規(guī)定、物凈程序管理、廢棄物管理制度)。保證進(jìn)入潔凈室的的空氣含塵量低于潔凈度規(guī)定的含塵量值。保證凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)量。保證潔凈室內(nèi)的正(負(fù))靜壓值。盡量減少潔凈室的產(chǎn)塵量。 二、潔凈室內(nèi)的注意事項(xiàng)潔凈室內(nèi)禁止跑動(dòng),走路時(shí)禁止脫防靜電鞋。禁止閑聊、吵鬧,大聲喧嘩。個(gè)人用品(手機(jī),手表等)及食物禁止搬入潔凈室內(nèi)。搬入資材及易耗品等生產(chǎn)物品時(shí)必須通過風(fēng)淋合格箱進(jìn)行洗潔作業(yè)后再搬入?;瘖y或涂指甲油的人禁止出入。防靜電帽,防靜電服外露出頭發(fā)、眼眉,一般服裝不正確時(shí)立即到更衣室檢查著裝之后再次通過風(fēng)淋室后入室。防靜電手套及手指套被破損或受污染時(shí)立即更換新的使用。作業(yè)時(shí)Clean Room帽(防靜電帽),防靜電服及防靜電鞋破損或受污染時(shí)通知組長交換新的使用。開始實(shí)驗(yàn)時(shí)、終了時(shí),休息時(shí)間過后要用滾筒架清掃作業(yè)臺(tái)及周邊。作業(yè)臺(tái)上禁止放置不必要的物品。禁止坐著轉(zhuǎn)動(dòng)椅子或向后擺動(dòng)。禁止靠在裝備、墻、作業(yè)臺(tái)等。禁止坐在地板上。禁止用手套觸摸皮膚。交換器及電源等電裝置要注意觸電。完成作業(yè)之后整理、整頓作業(yè)臺(tái)、工具等。 三、進(jìn)出潔凈室人員的規(guī)定凡需進(jìn)入潔凈間的實(shí)驗(yàn)人員,參觀人員皆需經(jīng)潔凈室培訓(xùn)、考核,考核合格后方可進(jìn)入潔凈間。實(shí)驗(yàn)人員必須保持良好的個(gè)人衛(wèi)生,不得留長指甲和涂指甲油,佩戴首飾,勤(理)洗發(fā)、勤洗澡、勤換衣。進(jìn)車...
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